Oxalumina Ceramic Suction Cup Plate is een revolutionair product op het gebied van precisiehanteringssystemen. Het is gemaakt van α-aluminiumoxide-keramiek (α-Al₂O₃) met een zuiverheid van ≥99,9%, gecombineerd met een speciaal ontworpen poreuze structuur om een optimale vacuümverdeling te bereiken. Vergeleken met traditionele zuignappen van metaal of polymeer elimineert deze keramische oplossing het risico op deeltjesverontreiniging volledig, terwijl het bestand is tegen extreme temperaturen (continu gebruik van 1750 °C) en corrosieve omgevingen. De unieke microstructuur (2-5 μm uniforme poriegrootte, 3,89 g/cm³ dichtheid) zorgt voor submicron vlakheid (oppervlakteruwheid Ra≤0,1 μm), waardoor het het enige professionele zuignapplatform is dat halfgeleiderwafels van 300 mm kan verwerken met een zuignauwkeurigheid van ± 0,1 μm.
1. Doorbraak in materiaalprestaties
Thermische stabiliteit: geen vervorming bij thermische schokcycli van 800°C en een levensduur die 5 keer langer is dan die van aluminium zuignappen (procesomgeving met hoge temperaturen).
Chemische bestendigheid: 1 jaar gewichtsverlies van 30% zwavelzuuronderdompeling is minder dan 0,01 g, geschikt voor batterij-elektrolytwerking en chemisch dampafzettingsproces.
Isolatieprestaties: De doorslagveldsterkte bereikt 40 kV/mm, waardoor een veilige werking in de plasma-etskamer wordt gegarandeerd.
2. Innovatie in technisch ontwerp
Porositeitscontrole: 40% porositeit wordt bereikt door middel van gelspuitgietproces, en de poriewandstructuur van 1-3 μm voorkomt dat ultradunne delen (≤50 μm) worden geabsorbeerd en vervormd.
Intelligente architectuur: ingebouwde temperatuursensor ondersteunt realtime thermisch beheer van -196℃ tot omgevingen met ultrahoge temperaturen.
